無油干式機械真空泵（又簡稱干式真空泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

        干式真空泵在進行工作的時候，就其相互之間其實也就是會沒有什么摩擦，運轉(zhuǎn)的時候其實也就是會比較的平穩(wěn)，再者，就另外一個方面來講，對于它的噪音上其實也就是會比較的低，工作腔當中其實也就是會沒有什么潤滑油，也正是因為如此，就干式螺桿泵其實也就是可以抽除含有大量水蒸汽以及其少量粉塵。

        因為干式真空泵上的螺桿可以直接的就制成了變螺距結(jié)構(gòu)，這個時候，它其實也就是會和等螺距結(jié)構(gòu)進行比較，這個時候，我們其實也就是會注意到就其本身的極限真空上其實也就是會更高，就其消耗功率上其實也就是會更低，干式真空泵還具有節(jié)能以及其免維修等一系列的優(yōu)點。

        干式機械真空泵會應用在了低壓化學氣相沉積當中的多晶硅制備工藝；再者，就干式機械真空泵其實也就是會應用了半導體刻蝕工藝。處于這些生產(chǎn)工藝當中，這時候，其實也就是會用到或者是生成腐蝕性氣體與相關(guān)的研磨微粒。

        就干式機械真空泵的應用來談，除了半導體工藝之外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氲奖糜彤斨?，且希望微粒排出泵之外會用到此設(shè)備；就其處于化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)或者是食品工業(yè)當中的蒸餾、干燥、脫泡以及其包裝等，要注意去防止有機溶劑所造成污染，適合用干式真空泵。