用油來保持運動部件的密封、靠泵腔容積變化而實現(xiàn)抽氣的機械真空泵統(tǒng)稱油封式真空泵。它們的工作原理都是使泵腔工作室容積機械地增大和縮小而抽氣。當(dāng)泵腔內(nèi)工作室容積變得最小時，與泵的入口管道連通，于是氣體進入泵吸入腔，一直到吸入腔容積最大并重新與進氣口分開時為止。當(dāng)容積減少時，氣體被壓縮，直到氣體的壓力大于一個大氣壓，排氣閥被打開，將氣體排出。

用油作密封泵液的必要性

當(dāng)前大量使用的機械真空泵，即使設(shè)計得最好，相向運動的零件間配合精度即使很高。在泵達到極限真空時，也難以阻止氣體由低真空端向入口端突破返流。另外，由于泵在設(shè)計制造及裝配中不可避免地存在有害空間，這也降低泵的極限真空度。油封式真空泵就是用油將相向運動的零部件和排氣閥零件間密封起來；將有害空間充填，使得高壓氣體反突破的機會少得多，密封性能也就好得多，從而使泵能達到較高的真空度。

油封式真空泵的應(yīng)用

油封式真空泵按照結(jié)構(gòu)型式可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式四種。目前，油式真空泵是國內(nèi)真空獲得技術(shù)中應(yīng)用較廣的一種泵，它可單獨用作低真空設(shè)備的排氣用泵，也可用作高真空排氣時的前級真空泵。真空行業(yè)中廣泛使用的油封式機械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑閥泵。因此，它已在國民經(jīng)濟的很多部門，例如電真空、電子、輕化工、鋼鐵、有色冶煉等工業(yè)部門中發(fā)揮著越來越大的作用。由于油封式真空泵均裝有氣鎮(zhèn)裝置，故也可以抽除潮濕氣體。但現(xiàn)在還不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對黑色金屬有腐蝕性，對泵密封油起化學(xué)作用、及含有顆?；覊m的氣體。

目前，國內(nèi)的許多研究單位和生產(chǎn)廠家正在設(shè)計和生產(chǎn)出抽除水蒸氣和耐腐蝕的油封真空泵系列。隨著新技術(shù)、新材料的發(fā)展和應(yīng)用，性能更好的、能滿足各種工業(yè)需要的、適應(yīng)能力強的各種油封式真空泵必將生產(chǎn)出來。