干式真空泵的應(yīng)用非常廣泛，主要有以下幾個方面，下面小編帶你了解一下干式真空泵的應(yīng)用范圍和場景：

1）多晶硅制備過程中的低壓化學氣相沉積;

2）半導(dǎo)體蝕刻工藝。 在這些制造過程中經(jīng)常使用或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨粒;

3）除半導(dǎo)體工藝外，部分工藝過程產(chǎn)生的顆粒，不希望顆粒與泵油混合，希望顆粒從泵內(nèi)排出，用一定類型的干式機械真空泵達到要求;

4）在化學工業(yè)，醫(yī)藥工業(yè)，食品工業(yè)的蒸餾，干燥，消泡，包裝，防止有機溶劑引起的污染，適合與干式真空泵配套使用;

5）用作普通無油清洗真空系統(tǒng)的前級泵，防止油污染。

干式真空泵主要有以下幾種形式：

雙圓片

雙盤設(shè)計與當今最流行和廣泛使用的羅茨泵非常相似。事實上，一些最早的干泵設(shè)計是羅茨泵的堆疊。這種多級設(shè)計使得氣路非常復(fù)雜，并且需要在每個階段有更大的氮氣流量來進行稀釋和隔離。同時，為了達到好的真空度，對各級的通關(guān)要求也是非常嚴格的。當然，由于內(nèi)部壓縮比的增加，這種設(shè)計使其功耗相對較低。

三葉草裂片

苜蓿葉形分割設(shè)計與雙分割設(shè)計相同，只是氣體在一次旋轉(zhuǎn)中被分成三部分而不是兩部分。兩種設(shè)計都有相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低功耗，一些廠商在選擇兩個直流電機的傳動部分，但這也會導(dǎo)致轉(zhuǎn)矩減小，重新啟動 - 下降的能力。與雙盤設(shè)計一樣，三葉草設(shè)計的每個階段都需要較大的氮氣流量來進行稀釋和隔離。

組合（根+爪）

組合（根部+爪部）與根部一起設(shè)計，以改善吸氣效率在更高的壓力下吸氣效率。其基本原理和氣路與上一節(jié)所述完全相同。一些廠家將最后的水平設(shè)計成明星，這樣的氣體可以分為五個革命，就像三個圓形的分割設(shè)計可以分成三個。同樣，在許多過程中，組合設(shè)計的每個階段需要更大量的氮氣流作為稀釋和隔離。

外部壓縮式螺絲

在外部壓縮式螺絲設(shè)計中，使用一對等距的螺絲。這使內(nèi)部壓縮最小化，同時保持氣路最短和最簡單。這樣，氣體可以在最短的時間內(nèi)停留在泵體內(nèi)。盡管這種設(shè)計由于其內(nèi)部壓縮比降低而導(dǎo)致功耗相對較高，但在許多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計使得氮氣需求非常小且簡單，這使得它在不同工藝中可以互換。在許多清潔過程中，您甚至可以消除氮氣。

內(nèi)部壓縮式螺絲

除了使用一對非等距的螺絲外，內(nèi)壓螺絲設(shè)計和外壓螺絲設(shè)計的基本原理非常相似。螺絲減小的體積使其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。 由于內(nèi)部壓縮，該設(shè)計將功耗降至與多級泵相當?shù)乃健?然而，在許多工藝中，這種內(nèi)部壓縮，就像多級泵一樣，很容易造成氣體在泵體中發(fā)生物理和化學變化而凝固或液化。